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          KLA-Tencor 宣布推出新型光罩檢測系統(tǒng)

          •   今天,KLA-Tencor 公司針對 10 納米及以下的掩膜技術(shù)推出了三款先進(jìn)的光罩檢測系統(tǒng),Teron? 640、Teron? SL655 和光罩決策中心 (RDC)。所有這三套系統(tǒng)是實現(xiàn)當(dāng)前和下一代掩膜設(shè)計的關(guān)鍵,使得光罩廠和集成電路晶圓廠能夠更高效地辨識光刻中顯著并嚴(yán)重?fù)p害成品率的缺陷。   利用創(chuàng)新的雙重成像技術(shù),Teron 640 檢測系統(tǒng)為光罩廠提供了必要的靈敏度,對先進(jìn)的光罩進(jìn)行準(zhǔn)確的品質(zhì)檢驗。Teron SL655 檢測系統(tǒng)采用全新的 STARlightGol
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          sl655介紹

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